以白光干涉技術為原理的3d光學輪廓儀，能夠以優于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。

3d光學輪廓儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。它所具有技術競爭力在于接觸式和光學三維輪廓儀的結合。通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術上的優勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學研究，也可以用于工業產品的檢測。

3d表面輪廓儀結構組成：

1、三維表面結構：粗糙度，波紋度，表面結構，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；

3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；

5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；

6、微電子表面分析和MEMS表征。

主要應用領域：

1、用于太陽能電池測量；

2、用于半導體晶圓測量；

3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量；

4、用于機械部件的計量；

5、用于塑料，金屬和其他復合型材料工件的測量。

3d光學輪廓儀設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能，以及粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，可以對各種產品、部件和材料表面的平面度、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。